Bu dersin amacı mikro ve nano sistemlerin, mekanik, elektrostatik, magnetostatik, hidrolik, termal ve optik özelliklerinin ileri analiz ve modelleme yöntemlerinin öğretilmesidir. Ele alınacak başlıca konular şunlardır: mikrosistemlerin statik deformasyonu, rezonans karakteristikleri, ve elastik özellikleri; mikroakışların analizi, mikromekanik sistemlerin kayganlık özellikleri, vizkoz sönümleme, süreklilik hipotezi, ve moleküler akışlar; mikrosistemlerde enerji kaybı ve ısı transferi; elektrostatik, piezoelektrik, manyetik, termomekanik, hydropnömatik ve electroreolojik tahrik elemanları, enerji dönüşüm sistemleri.