Bu modülün içeriği i) malzemeleri mikro ve nanoboyutta şekillendirmenin temelleri (difüzyon, dağlama ve oksidasyon), ii) litografi, malzeme depozitleme, patern transferi ve metroloji, ii) şarjlı parçacık litografisi (e-ışını ve fokuslanmış iyon ışını litografisi), iv) taramalı uç mikroskopisi-temelli üretlim teknikleri (batırmalı uç litografisi ve nanograftlama), v) nanobaskılama litografisi ve adım-ve-flaş litografisi, vi) konvensiyonel olmayan üretim teknikleri (nanoskiving ve nanoküre litografisi), vii) öztoplanma, kalıplı/güdümlü öztoplanma ve yumuşak litografi, viii) gövde ve yüzey mikroimalatı ve ix) 3D baskılamadır. Bu modül mikro/nano yöntemlerle üretilmiş aletlerin uygulamalarına da özel önem verecektir.