Mikroelektronik eleman üretiminde kullanılan işleme teknolojilerinin fizik ve kimyasının kuramsal analizi; yarıiletken büyütme, malzeme nitelemesi, litografi araçları, fotoresist modelleri,ince film biriktirme,kimyasal aşındırma plazma aşındırması, elektriksel temas sağlanması, çok küçük yapıların işlenmesi, işlem modelleme.