MEMS üretim teknolojisinin temelleri, mikrosensör tasarımı ve sistem entegrasyonu, bu dersin ana konularıdır. Bu teknolojinin avantaj ve dezavantajları, paketleme ve arayüz konuları, üretilebilirlik, değişik uygulama alanları (otomobil, savunma, havacılık, biyoteknoloji, tıp, vb.) ve ticari unsurlar, dersin işlenecek diğer konuları arasındadır. Bilgisayar destekli, mikrosensör tasarım ve simulasyonunundan oluşan bir dönem projesi de, dersin içeriğinde bulunur.